当反应发生时,阳极氧化层附着力离子不断地攻击物体表面,使它们相互碰撞。不同的气体由于物理反应的不同而产生不同的光泽和颜色。采用等离子体发生器进行处理,也称辉光放电处理。在双极电场的作用下,电子和共价键分别向阳极和负极移动,在此过程中在电极附近堆积形成空间电荷区。由于共价键的漂移速度远低于电子的漂移速度,所以共价键空间电荷区的电子密度远高于电子空间电荷区,以至于整个电极间工作电压几乎集中在负极附近的一个狭窄区域。
在平行电极反应器中,怎么检查铝合金阳极氧化的附着力递归离子刻蚀室采用小阴极面积和大阳极面积的非对称设计,刻蚀剂放置在面积较小的电极上。鉴于频率发射主机电源形成的热运动效应,带负电荷的自由电荷量小、活动速度快,快速到达阴极的正离子量大、速度慢,不能同时到达阴极,因此在阴极附近形成带负电荷的鞘层。在鞘层的加速作用下,正离子垂直轰击硅片表面,加速了表面化学反应和抗反应产物的分离,产生了较高的刻蚀速度。
在平行板反应器中,阳极氧化层附着力反应等离子体刻蚀腔选择小阴极面积和大阳极面积的非对称方案,待刻蚀物放置在面积较小的电极上。在进行等离子体刻蚀操作时,射频电源产生的热量使质量小、移动速度快的负电荷自由电子快速到达阴极,而正离子由于质量大、速度慢,难以同时到达阴极。然后,在阴极附近会形成带负电荷的鞘层。
氩离子采用物理轰击被清洗表面污物,阳极氧化层附着力氧气与表面污物发生氧化反应,并且当氩气和氧气分子一经碰撞便可以使电荷转换并结合,形成新的活性原理,使电离和离子能量得到很大程度的降低,同时会产生更多的活性粒子,此时,清洗效果已经达到1+1>2的效果。
怎么检查铝合金阳极氧化的附着力